半導(dǎo)體行業(yè)檢測
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內(nèi)容概述
半導(dǎo)體制造行業(yè)對于金屬污染物、潔凈室AMC污染物等都有與企業(yè)自身相對應(yīng)管控要求。晶圓、襯底、電子化學(xué)品、電子特氣、半導(dǎo)體設(shè)備等各個環(huán)節(jié)的制造過程都需要對各類污染物進(jìn)行檢測。對于半導(dǎo)體制造行業(yè)的金屬污染物、潔凈室AMC污染物的檢測，以及有毒有害氣體報警等，譜育科技推出了一系列的解決方案，以及與之相對應(yīng)的高精度檢測儀器和在線系統(tǒng)。
半導(dǎo)體行業(yè)痕量、超痕量金屬污染檢測
半導(dǎo)體產(chǎn)品在制造過程中，金屬污染會對制程良率造成極大的影響。在整個半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈中，從襯底、化學(xué)品、特氣等半導(dǎo)體材料的制造，到晶圓的加工，都對金屬污染有著嚴(yán)格的管控要求。
譜育科技針對半導(dǎo)體行業(yè)各個環(huán)節(jié)的金屬污染檢測，推出了一系列解決方案以及相關(guān)產(chǎn)品，可以滿足各類半導(dǎo)體用戶對金屬污染的相關(guān)檢測需求，為中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)貢獻(xiàn)出自己的一份力量。
半導(dǎo)體AMC在線監(jiān)測解決方案
AMC是危害半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝并導(dǎo)致成品率降低的分子態(tài)化學(xué)物質(zhì)。AMC會在半導(dǎo)體制造的柵底氧化、薄膜、硅化物和多晶硅形成、接觸成型、光刻等多個關(guān)鍵工藝上造成各種危害，影響產(chǎn)品質(zhì)量，是半導(dǎo)體制造面臨的越來越嚴(yán)重的問題，也是生產(chǎn)環(huán)境控制中亟待解決的問題。隨著半導(dǎo)體制造技術(shù)的發(fā)展，對AMC的控制標(biāo)準(zhǔn)將越來越嚴(yán)格。
譜育科技針對半導(dǎo)體行業(yè)對潔凈室AMC管控要求，推出了一系列解決方案以及相對應(yīng)的離線、在線檢測設(shè)備。為解決國內(nèi)半導(dǎo)體企業(yè)潔凈室AMC環(huán)境管控難題貢獻(xiàn)出一份力量。
半導(dǎo)體近紅外檢測儀
隨著大型半導(dǎo)體器件成為電子消費者的選擇，在制造半導(dǎo)體裝置的過程中使用的溶劑量已大大增加，因此需有效使用溶劑以優(yōu)化器件制造工藝。同時在蝕刻劑的再生過程中，也需實時分析蝕刻劑的成分以再生均勻組成的蝕刻劑。由于蝕刻劑的每種成分都有其特征性的光吸收波長，基于近紅外光譜儀的分析技術(shù)是最近開發(fā)的實時分析技術(shù)之一。
譜育科技可以提供完整的半導(dǎo)體分析解決方案，涵蓋了從濕法刻蝕清洗和光阻去除等工藝過程控制，實現(xiàn)半導(dǎo)體制造過程的快速、實時分析蝕刻劑的各種成分，加快處理速度并達(dá)到改善質(zhì)量控制的目的。
GDM-2100 Series特氣檢測儀
半導(dǎo)體行業(yè)在芯片制造過程（擴(kuò)散、沉積、刻蝕等）中會使用到各種易燃易爆、有毒有害的電子特氣，常見的電子氣體包括了可燃?xì)怏w、硅烷、磷烷、鍺烷、氨氣、氯氣、氰化氫、磷化氫、氯化氫等氣體；這些特氣在使用過程有出現(xiàn)泄漏的可能性，可燃?xì)怏w發(fā)生泄漏可能會引起爆炸事故，有毒有害氣體泄漏則會對人產(chǎn)生直接的影響，造成人員中毒甚至直接威脅人員的生命安全。
因此，半導(dǎo)體行業(yè)在芯片的生產(chǎn)、制造過程中需要安裝特氣檢測儀，來對這些特殊氣體進(jìn)行泄漏監(jiān)測和預(yù)警，一旦檢測到氣體濃度超標(biāo)，則發(fā)出聲光報警提醒工作人員。
